二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293777763 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种先进的用于光刻的自动掩模对齐器。掩模对准器处理集成电路（IC）掩模，基板的最大尺寸为8 "x 8"，有一系列的对准和曝光操作。设备由先进的光学组件、6英寸二极管激光器和数字反馈控制系统组成。该单元在手动或半自动（可编程的）模式下工作,可以设置各种参数组合,包括对齐、曝光和传送模式。光源是一种二极管激光器，用于对准和暴露掩模，激光控制系统对准掩模图样与光刻胶。激光被投影光学器件脱脂聚焦，达到亚微米精度，而遮罩图样的阴影（强度）可以在基板上解析，精度± 5 μ m。光强度由电子控制,可以在5mW到25mW之间进行调整,而无需对设备进行任何物理修改。面罩本身安装在步进电机级，由强大的步进电机驱动。以精确和快速的方式实现遮罩对准，确保图桉与所需的光刻胶完全覆盖。该机器可适应各种操作条件，从晶圆到集成电路或复杂模式。该装置是完全自动化的，有真空系统、自动掩模处理和内置晶圆映射工具。这确保了快速可靠的光刻工艺。基板对准资产配有先进的精确映射视觉模型，平面平面，高精度± 0.14mm。为确保安全，MICROTEC MJB3配备了安全快门，以防止任何残留的激光到达用户。KARL SUSS MJB3适用于尖端光刻设备，对准和曝光速度快，掩模图样精确，可重复性高。因此,它是任何IC设计和制造实验室的重要工具。