二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293795170 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3掩模对齐器是一种用于在晶圆上精确对齐和对齐掩模的设备。MICROTEC MJB3利用3轴级,能够在水平、垂直和深度方向移动掩码。它还具有两个可独立调节的步进电机驱动级，用于在晶圆上精确定位掩模。显微镜在X-Y方向上具有0.1 µm的分辨率，在Z轴上具有0.05 µm的分辨率。KARL SUSS MJB3是专门为光刻而设计的，使其成为当今最全面的掩模对齐器之一。这种蒙版alinger非常适合创建不同形状和大小的蒙版,并具有出色的粒子级效果。其视野为12毫米x 12毫米，X-Y方向分辨率为0.1 µm，Z-轴分辨率为0.05 µm。它能够轻松扩展其视野,非常适合创建具有紧密几何形状的复杂阵列。KARL SUSS/MICROTEC MJB3在显微镜下具有微焦调，精度和可重复性高达1.0 µm或更高。这种调整焦点的能力使得它非常适合创建具有小几何特征的高精度蒙版以及光敏基板。也可用于高精度打造高达0.5 µm的线宽。此外,MJB-3还提供了多种有用的功能,包括集成的Wafer Sense控制,使掩模与晶圆精确对齐,数据存储和分析功能,以便在设计掩模时参考,以及可调节的掩模框架尺寸,最大可达126 mm。它还包括一个集成的定位系统、准直载波、照明和安全系统、一个频率发生器和光学滤光片以及各种不同的光源。总体而言,MICROTEC MJB3掩模对准器是一种用途广泛的高精度设备,专为光刻和掩模对准而设计。MICROTEC MJB3通过其三轴级、精细聚焦调整和广泛的特性,在创建不同形状和大小的掩码时确保了精确的对齐和可重复的结果。它非常适合创建高精度的复杂图样,以及创建光敏基板和最大0.5 µm的线宽。