二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293797042 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是专为4英寸和6英寸基板上的高分辨率接触光刻而设计的全容量对准和曝光设备。MICROTEC MJB3采用原位聚焦监视器、高速自动对焦、集成电动Z级和高精度晶圆对准,在生产精细微结构时提供了无与伦比的精度。光学元件也非常坚固,提供出色的线性、高对比度和锐利的图像。为了对系统进行精确控制,KARL SUSS MJB3配备了一个优化的数光控制单元,用于可重复的高精度对准、聚焦、曝光和级步长。该机器可以很容易地与MICROTEC MJB3的直观软件相连接，开发来简化复杂的光刻工艺。它为驱动参数、对象大小选择和机器配置提供了用户友好的设置,使用户能够快速轻松地创建可靠的流程。软件还提供了设置和结果的全面日志记录,以进行详细的工具性能分析。为了优化每个应用程序的曝光，资产包括各种照明设置和可变数值孔径。可变数值孔径可确保根据结构尺寸和分辨率要求实现所需的分辨率。反射和吸收优化的光学元件还允许用户将长宽比变化到8英寸。这通过优化要与掩模匹配的设计长宽比来确保尽可能高的分辨率。对于晶片装卸，MJB3型号提供手动装卸或带可调节支架的集成盒式装载机，最多可容纳12个晶片。盒式磁带装载机提供低至10°C的控制温度条件。再者，可以使用倾斜和旋转功能来调整每次射击的晶圆方向。总体而言,MJB-3 Mask Aligner提供精确的平版印刷模式,具有可重复的精度和高分辨率。其精确的光学器件、先进的软件、优化的对准和曝光设置以及改进的装卸设备，使其成为业界接触光刻工艺的理想选择。