二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9024175 待售

ID: 9024175
Mask aligner Type 401000.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种掩模对齐器,或微光刻工具,用于半导体制造。该工具主要用于晶片光刻、光学接近校正和光电检测过程中的晶片图样化。MICROTEC MJB3具有极其精确和高分辨率的阶段,提供了最准确的结果。KARL SUSS MJB3对齐器由KARL SUSS/MICROTEC MJB3基平台、基板对齐系统(SAS)和专利的掩模对齐传感器阵列(MASA)组成。基础平台是用装有激光引导对准系统的稳定级建造的。该系统的设计目的是在光刻过程中保持基片相对于掩模的水平。SAS是一个六轴手动级,允许对基板地面进行精确定位。最后,MASA由四个固态摄像机组成,为用户提供曝光面罩设计的实时反馈。KARL SUSS MJB-3对齐器在精密掩码配准方面提供卓越的性能,其功能包括光动基板配准、自动模式生成和自动运行对齐。光激活基板注册允许同时注册多达十二个晶片。此功能使用户能够减少设置时间并提高总体吞吐量。"自动阵列生成"功能允许用户快速创建新的蒙版,即使这些蒙版以前没有任何蒙版设计经验。最后,"自动运行对齐"功能使用户能够将预先形成的掩码精确注册到基片上。此外,MJB3还提供其他功能,如高通量聚酰亚胺研磨、单基板模式和可再生基板注册。这些功能允许用户通过减少用于辅助处理任务的时间和减少掩码注册时间来最大化吞吐量。总体而言,MICROTEC MJB3掩模对准器是半导体制造的重要组成部分,为用户提供卓越的精度和高分辨率。此对齐器提供高效的处理功能,其功能允许快速创建新的掩码并同时注册多个晶片。
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