二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9105774 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是为高精度光刻工艺而设计的高级掩模对齐器。它能够将多个掩码彼此对齐,同时实现高精度。对准器配备了独特的6轴运动设备,确保在整个工作过程中保持一致的精度。此外,机动化的x、y、z级可以轻松调整多个掩模的对齐方式,同时保持精度和效率。MICROTEC MJB3还配备了一套自动对准和定位步骤,可用于确保准确的掩码注册和最大限度地减少用户交互。该系统包括预设参考帧和其他独特的功能,例如调整掩码大小、焦点和倾斜角度的能力。这有助于操作员以最大的精度和精确度调整对齐方式。KARL SUSS MJB3还具有激光干涉仪集群,向用户提供实时反馈。它允许在测量掩模的距离、角度和X/Y未对准时进行高级别的优化。该单元还具有自动编程功能,可用于更准确地排列口罩的对齐方式。KARL SUSS MJB 3对齐器支持高达15.6英寸的场宽,分辨率高达0.005微米,可重复性高达0.002微米。该机器直观、用户友好,可用于以极好的精度复制高度复杂和复杂的模式。此外,设备是完全自动化的,可加快运行时间并减少用户输入量。KARL SUSS MJB3具有先进的工程设计和先进的功能,是当今市场上领先的掩模对齐器之一。它为一系列行业提供了先进的光刻解决方桉,为用户提供了更大的灵活性,以较低的成本实现精度和精确度。
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