二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9183456 待售

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KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
已售出
ID: 9183456
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种先进的掩模对齐器,支持对基板和晶圆上的亚微米图样进行光刻。MICROTEC MJB3提供1微米的最大分辨率,大场大小可达80x80mm,可为小特性提供高精度和广域覆盖。它配备了分辨率为0.25微米的数字图像传感器,为掩模和基板提供了准确、可重复的对准。为了实现对齐,KARL SUSS MJB3采用了专利的8点对齐工具,允许用户在曝光前准确地建立参考位置。蒙版对准器还提供了在曝光期间调整暴露参数如剂量、焦点和对准等的灵活性。MICROTEC MJB3采用高效对流冷却光源,无需外部冷却系统。还加入了实时成像系统,允许在掩模沿X和Y轴移动时实时显示和对齐掩模和基板。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3还具有先进的自动聚焦系统,可确保每次曝光都处于焦点状态,甚至自动调整每个孔径大小的焦点,以确保一致、可重复的结果。MJB3由坚固的材料如不锈钢和铝合金构成,确保了使用寿命的可靠性。此外,其专利设计易于操作和维护;它允许对组件进行高效调整,并具有简化的用户界面。这使用户能够快速准确地校准掩模对准器,并通过自动调整系统参数进行必要的调整。总之,MJB3是一种先进的掩模对齐器,具有较高的准确性和可重复的结果.其高效的光源和坚固的施工保证了可靠的运行和较长的使用寿命。凭借其用户友好的设计和先进的功能,KARL SUSS MJB3允许用户实现可靠和高质量的光刻结果。
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