二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248455 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是为各种材料的精确、大规模对准而设计的光学掩模对准器。它通常用于从光刻到微加工的应用，以及用于创建有图样的基板。这种高度精确的设备采用先进的光学设备、自动对焦控制和可变压力手动对准。MICROTEC MJB3具有两个主要部分：一个是安装板固定并精确地在基板上移动掩模的掩模机器人,另一个是使用掩模机器人精确定位基板的微操纵器。掩模机器人包括精确的XYZ电机，可移动两级：一级用于掩模对准，另一级用于基板对准。KARL SUSS MJB3的相对对准精度为0.2 µm。此外,KARL SUSS/MICROTEC MJB3还具有高分辨率、单层对齐能力,可达1.2 µm。它还提供了单面罩和双面罩对齐方式、高达25.4 µm的分辨率和4、8或12英寸面罩之间的选择。为确保精确对准，KARL SUSS MJB3在微操纵器中采用了最先进的激光对准系统。此单元包括单波长和双波长（红/绿）选项。它的两波长机器在掩模定位上允许更高的精确度，而它的单波长工具最适合使用绿色的薄膜掩模。MICROTEC MJB3还采用了一种精密的方法来测量掩模对准精度。它使用特殊的接触测量，包括测量膜罩边缘与基板边缘之间的差值，精度为0.1 µm。该装置还具有真空卡盘，在对准时提供可靠的基板保持。这个卡盘用来保护底物免受抽动.此外，对于需要更高夹紧力的基板，可以选择压力控制选项。简而言之，MICROTEC MJB3是一款高精度、大型的掩模对齐器，专为多种应用而设计。它提供可靠的对准精度、自动对焦控制、可变压力手动对准以及多种掩码配置。这种装置非常适合批量生产光刻和微加工，以及制造有图桉的基板。