二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248457 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种掩模对齐器，一种用于制造集成电路的半导体计量设备。MICROTEC MJB3配备了一个特殊的腔室，使用户能够以亚微米精度在标准晶片和高级晶片上制作复杂的设计。这是通过将晶片表面暴露于来自激光器的聚焦光中来实现的，以便将图样从包含电路设计的掩模传输到晶片上。KARL SUSS MJB3凭借其先进的掩模对准技术以及低成本、高效的光学元件，能够提供高通量和高产率。该设备配备了四轴对象透镜级镜面辅助光学对准装置，可实现精确的步进对准，最大吞吐量。最重要的是，它的"双镜头"光学设备弥补了单个口罩的分辨率可能与设计的目标分辨率略有不同的事实。为了降低制造成本和缺陷，KARL SUSS MJB-3采用了光学系统散焦调节和各种先进的放大和照明参数。其7英寸步进镜头还减少了对焦误差，确保整个电路设计均匀暴露在其精确的激光光源下。MICROTEC MJB3还利用对流冷却的遮罩支架，减少遮罩的热扭曲，从而导致设计模煳或不对准。MJB3采用重型密封铝制外壳结构,可确保该单元不会振动,并且易于搬迁。这对于高效晶片制造很重要，因为不同的晶片可能需要不同的取向。此外，该设备还配备了视频监控、直接报警机和照明标线，每次都能提供一致的结果。MJB-3是薄膜和大面积晶圆加工等多种应用的理想掩模对齐器。该设备与大多数晶圆设计、偏振器和光掩模材料兼容，使其成为所有半导体制造应用的通用可靠解决方桉。