二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9257920 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种用于直接写入电子束光刻的掩模对齐器。它由电子枪、对准级、晶圆级和圆柱组成。电子枪发射一个聚焦电子束，其精确度足以产生小到10纳米的线条和形状。对齐阶段将选定的标线保持在相对于晶圆具有精确和可重复位置的位置。该级可以进行优化，以准确、精确地跟随电子束结构，允许重复曝光。可以在对准级加入参考透镜，让电子束聚焦和放大到晶圆上。晶片级是保持基板、抵抗和对准目标以进行曝光的地方。这一阶段沿X和Y轴具有高度的准确性和可重复性。这些级可以配置为各种晶圆大小,能够在一个会话中扫描多个晶圆。该柱包含一系列聚焦电子束的透镜、光圈和栅极。这些组件协同工作以优化梁的形状、大小和强度,即使在密集的环境中也能精确获取阵列数据。MICROTEC MJB3有一个强大的软件包，可以控制对齐器，并能够精确地形成复杂的层。它还可以配置一个环境室，使其能够在存在水蒸气、湿度和热量的情况下运行。这允许用户进行更精确和可重复的曝光。先进的对齐器、精确的晶片级和强大的软件相结合，使得KARL SUSS MJB3适合高通量、高分辨率生产半导体电路和器件。特性的结合也使得它成为定制模式和原型集成电路的绝佳选择。