二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9270076 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是为光刻生产而设计的光学掩模对齐器。它是一种多用途、高精度的工具，用于创建微电子工业中半导体器件所用的超精细图样。MICROTEC MJB3具有折射掩码对准功能。它由提供x、y、z轴运动的压电级驱动。KARL SUSS MJB 3还有一个可变相机设备，用于大小比例的模式传输。这个系统还包括一个可变还原成像单元，这是一个创新的功能，允许极精确的定位和放大具有广泛的模式大小。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的设计目的是确保高精度和吞吐量达到600 mm晶圆。它提供出色的图像稳定性、分辨率和图像重迭特性,使其适合积极的光学印刷应用。MICROTEC MJB-3通过获得专利的垂直进给通路（VFT）实现了先进的位置精度,这是一种可调导引机。VFT允许对曝光进行可重复的旋转对齐,提供无间隙的配准,以确保即使在多次曝光后的准确性。MJB-3还配备了一个机械自动装卸工具，它提供了可靠和可重复的晶圆交换与最小的操作误差。此资产是自动化的,可处理25毫米至600mm的晶圆尺寸,重复注册精度不超过5微米。高精度照相光学器件消除了手动镜头优化的需要，允许光学器件快速可靠对准，从而实现高吞吐量和高效率。KARL SUSS MJB3还包括一个软件控制的过程模型，它允许轻松设置曝光参数和其他相关数据。此设备提供了照片处理过程中每个步骤的详细控制记录,还提供了对所有故障的轻松访问,可以根据需要进行纠正。总体而言,MICROTEC MJB3 Mask Aligner是用于光刻生产的高精度工具,旨在提供最高精度和吞吐量。KARL SUSS/MICROTEC MJB3具有折射掩模对准能力、可调导引系统、机械自动装卸单元、照相光学、软件控制的加工机等功能，是创建微电子所必需的模式的可靠工具。