二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9281943 待售

KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
ID: 9281943
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一款全自动Mask Aligner,专为解决高质量的图样和蚀刻应用而设计。该装置提供50 µm的最大粉末分辨率,1.2 µm的最小特征尺寸,10 µm的最大动态范围,0.5 µm的最小光束尺寸。此外,MICROTEC MJB3具有广泛的功能,包括获得专利的自动对齐程序、自动缺陷识别以及增强的光束路径控制设备,能够进行真正的3D地形测量和后续的层覆盖范围优化。掩模对准过程由先进的硬件和软件系统提供动力,其中包括高分辨率CCD摄像头、高精度伺服电动机以及具有复杂模式对准和计量软件的专用计算机。这种装置能够在几微米的公差范围内将掩模极高的精度对准基板。强大的对齐机和先进的硬件为可靠、准确的无接触模式对齐提供了手段,减少了设置时间。KARL SUSS MJB3采用集成的晶圆输送器工具和全封闭扫描平台,提供了高效的处理解决方桉。它可以提供高达每小时20个晶圆的高效吞吐量,并提供灵活的高溷合参数,非常适合各种应用。这种装置与广泛的材料兼容,使其适合多种材料加工应用,包括光刻和蚀刻。MICROTEC MJB3设计为精确、可重复和可靠的操作,具有持久、可靠、易于维护的设计。集成的过程监控系统可确保产品产量完美无瑕和可重复的准确性能,而且通用的软件资产允许对具有更新参数的不同作业进行快速而简单的调整。这种强大而灵活的模式得到了强大的客户服务团队的支持,并具有快速的响应时间和专家技术建议,以确保客户满意度达到最高标准。
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