二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9284673 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种最先进的遮罩和标线对齐器，用于精确对齐用于光刻的基板。这种先进的设备利用具有多传感器头的成像计算机来检测和驱动两个基板之间的对准。MICROTEC MJB3可以实现15 nm以内的差分狭缝测量,从而在纳米级设计中实现完美的对齐。该机设计为工作与各种基材尺寸，从6英寸到12英寸方块。当CCD摄像机在整个对准过程中监视零件的位置时,真空卡盘系统可以牢固地固定零件。为了提高精度和分辨率,成像装置采用了专利的超精确精细对齐技术。为了检测和实现对准,KARL SUSS MJB3采用了一个专门的磁头,该磁头具有四个角边传感器、四个顶部参考传感器和四个边缘参考传感器。这种传感器阵列与高分辨率光学器件相结合,能够以高精度快速对准。KARL SUSS/MICROTEC MJB3还具有直观的图形用户界面,使工程师能够轻松查看和调整与作业相关的参数。这包括复杂的图像分析、图像捕获和标记、实时自动调整以及使用日志记录等功能。此外,机器还跟踪和存储用户定义的参数和设备历史记录,从而方便地召回和重新运行成功的作业。总体而言,KARL SUSS/MICROTEC MJB3是一款非常先进且精确的掩蔽和标线对齐器,即使是最复杂的光刻项目也能提供高分辨率对齐。