二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9391863 待售
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ID: 9391863
晶圆大小: 3"
Mask aligner, 3"
Type: 10000003
UV400 Optics
Lamp house: 200 Watts
Operation modes:
Hard contact
Soft contact
Chuck, 2"
Mask holder, 3" (Square opening 2"x2")
Microscope
(3) Objectives: 5x, 10x, 20x
Microscope Illumination power supply
UV Power supply:
Mercury lamp
With remote ignition box
Power supply: 220 V, 50 Hz, 500 VA.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一种计算机化的机械掩模对准器,用于制造微型电子元件。该装置用于生产集成电路和电容器等半导体器件,以及平板显示器和光伏电池。该机利用模具对感光材料进行制图,并将其转移到硅片等基材上。MICROTEC MJB3具有自动晶片装载器,可在精确引导阶段精确定位晶片。这允许在曝光过程中对掩模和晶片进行高精度对准。KARL SUSS MJB 3还集成了一个高分辨率的光学系统,它为掩模到晶圆距离提供了小于一微米的鲁棒对准精度。KARL SUSS/MICROTEC MJB3能够产生最小特征大小为0.5um的图样,即使是最复杂的设计也能提高分辨率。KARL SUSS/MICROTEC MJB3可以安装各种口罩和基板,使使用者可以将其用于不同类型的应用。由于这是一个计算机化的设备,用户可以调整各种设置,如曝光持续时间和光线强度。这使用户能够产生高度一致的结果,而不管设计的复杂性或掩码的大小如何。此外,KARL SUSS MJB3还可用于同时对多种基板进行阵列设计,从而大大减少生产多种设备所需的时间和工作量。KARL SUSS/MICROTEC MJB3还具有多种安全功能,如用于限制进入的钥匙锁系统、紧急停止按钮、UV逆变器系统和通风单元。这些附加功能使用户能够在安全舒适的环境中使用计算机。最后,MICROTEC MJB3为微型电子元件的生产提供了可靠高效的解决方桉。其高精度的对准系统、安全特性和自动晶片装载机使其成为希望产生一致和高质量结果的生产团队的理想选择。
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