二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #293751563 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4是MICROTEC开发的掩模对齐器。它是一种全场、高精度的接触对准设备，专为非均匀基板而设计。它由一个精确的可移动x/y级和一个对准物镜组成，允许光刻操作期间光刻胶的精确微孔对准。系统有两个主要组件：主支架和对齐目标。主支架将基板与机械夹具固定在适当的位置，对准目标提供一个原本对齐的光刻标线的精确对准。机械夹具提供了稳定性，同时最大限度地减少了由于高夹紧压力引起的对准失真。目标包含精确的可调透镜，以提供必要的对准精度。MICROTEC MJB4的精度是通过使用一个专有的运动学单元来实现的，该单元由可调切向力弹簧控制的极平坦、平行的表面玻璃板组成。压力补偿机的精确度允许极精确的微观模式曝光。对准目标配备了依赖于速度的电子聚焦驱动器，允许基板的快速和精确对准。KARL SUSS MJB4具有全场曝光工具，允许轻松地曝光大型基板。该资产能够在x轴和y轴上实现亚微米分辨率,从而确保阵列的精确曝光。支持夹具配件为具有不同形状、尺寸和材料含量的基板提供了广泛的适应范围。此掩模对齐器非常适合从事微电子、光电、平板显示技术和其他精密光刻应用的组织。它提供了卓越的准确性和可重复的性能,能够在全场曝光操作中提供高质量的结果。