二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #9395957 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4是为电子和微机械工业中的光刻工艺设计的掩模对齐器。设备为双轴系统，可处理接触面罩、光学光刻用投影面罩、微机械用半透明升空面罩等多种光掩模。其自动化平台采用高精度四轴对准单元，可实现精确、准确、可重复的掩模定位。这有助于优化晶圆上创建的图样的准确性和质量。MICROTEC MJB4配备高分辨率传输CCD相机和高效照明投影机。这个90瓦的短弧HID头提供均匀的照明和高通量,并且能够在几种不同的波长轮廓选项下工作。此外，其先进的电子设备确保曝光时间始终一致，并且在过程中基板上的图样不会移动。该工具的成像软件在光刻过程中是一个非常宝贵的工具,它为参数输入、配方创建、对齐设置、数据日志记录和过程结果提供了易于使用的图形用户界面。还可以建立数据日志以检索流程数据,如焦点、曝光时间和掩码位置,以便对流程进行故障排除和优化。此外，该软件还能够识别各种基板尺寸，以便适当地调整每种基板的对齐设置。KARL SUSS MJB4还采用高精度级资产和压电电机控制技术进行精确对准，进一步降低了产生模式失真的风险。此外，该模型还包括晶圆级温度控制技术，允许改进图样放置精度，提高晶圆平整度，以及更高质量的打印。最后，设备具有内置的安全功能，让用户在使用有害材料时安心。这使得KARL SUSS MJB4成为那些希望开始或改进其当前光刻操作的人的理想选择。其用户友好的操作和内置的安全协议使其成为任何实验室的宝贵补充,其准确、可重复和高分辨率的曝光特性使其成为那些希望产生高质量晶圆模式的人的首选。