二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-55是一种具有晶圆处理能力的高精度5轴掩模对准器。它旨在将光掩模的图样精确地传递到光刻涂层的基板上。MICROTEC MJB-55利用PC控制的精密5轴线性和旋转运动的独特组合,使其能够精确地在基板上传递和对齐图样。该设备旨在提供快速、准确的图样传输时间,非常适合采用高速光刻或快速原型制作等掩模工艺。KARL SUSS MJB55最多可容纳6英寸底物，并提供标准的x-y级，最大行程160毫米。它具有多个级配置,包括单级、双级或三级掩模级,采用线性伺服电动机和编码器技术进行高精度对准,需要低维护。X-Y-θ-φ-W对齐阶段提供了操作灵活性以及出色的可重复性。此外,0-50 μ m的焦点/z范围可在模式传输过程中实现稳定的焦点。KARL SUSS MJB-55配备了支持多种工艺的晶圆尺寸处理高速级。它还提供晶圆膨胀/膨胀和温度控制，以改善对准和曝光时间。晶圆处理配件可配置用于多种基材尺寸和工艺，如自旋涂层、液体处理槽、湿法和干法加工、溶胶凝胶、PED、CMP等。此外,系统还配备了集成的高分辨率成像对准单元和自动对焦功能,可实时对准和曝光。这样可以实现高达1 μ m的快速、准确的模式传输和对齐。机器可以集成到一个生产环境中，它能够被链接到一个数据收集工具。机器人集成软件包可帮助掩模制造商优化吞吐量并节省清洁空间。此外,资产的免维护设计和直观的用户界面提供了方便的维护和操作,使其成为各种生产应用程序的理想选择。
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