二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9229803 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-55掩模对齐器是一种用于对基板和晶片进行精确和可重复的平版印刷图样的对齐工具。这台机器具有可编程的精确对准和曝光能力,维护和操作简单.MICROTEC MJB-55能够产生8 µm和亚微米空间的最小分辨率线宽。它具有非常紧密的对准精度,最小可达到的覆盖精度为≤2 µm。KARL SUSS MJB55拥有先进的光电池光束对准设备和自动控制功能,可实现高精度的高速度图样对准。该装置是自成一体的，所有组件都集成到一个单一的仪器中。它配有5英寸孔径和顶唇的真空卡盘、刀片和清子台、扩散箱和晶片架。MICROTEC MJB55光学系统由两个液冷中压汞蒸气灯和两个Kohler照明级组成。光束透射标线保持在一个真空弹匣，容易加载到机器上。对齐蒙版表面位于水平扫描的曝光阶段。KARL SUSS/MICROTEC MJB55使用了一个专有的光束透射对准单元，结合了激光边缘检测和亮场照明，以实现精度和可重复的模式。该装置采用电动Z轴，用于舞台和成像镜头的精细聚焦控制。使用高质量的光学机器对曝光情况进行监测，以便进行边缘检测和配准。集成控制机制可实现自动化和半自动化操作。MJB-55还配备了一系列安全功能，如近距离传感器、端点和带罩摄像头。该机具有易于使用的触摸屏界面，使设置和操作成为一个高效的过程。它设计精巧，灵活，操作方便用户，是基材和晶片快速精确制图的理想工具。