二手 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003961 待售

ID: 9003961
晶圆大小: 3"
Mask aligner, 3" ZEISS Split field optics 200W Light source.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001是一种微机电系统(MEMS)掩模对准器,用来在各种基板如硅片、半导体晶片或有机基板上精确定位亚微米特徵的图样。机器具有6轴功能,在创建高度精确的结构时,可以灵活地执行两个或多个零件之间的对齐操作。EATON 2001蒙版对准器使用大小光学元件的组合来实现精确对准。大型光学器件用于图样在基板上的初始对准,而小型光学器件用于更精细的对准和配准。光学元件集成到5轴监控机构中,该机构使用旋转和平移两种方式使图像精确对齐。对齐器能够使用不同类型的图像模式,如线格阵列、点、正方形、矩形和其他形状。该机还配备了非常精确的位置反馈设备。该系统可确保阵列的对齐符合规格。位置反馈单元的精度取决于舞台的精度和要形成的图桉的大小。可以根据应用程序调整阵列的大小以及对齐的准确性。KASPER 2001面罩对齐器还有一个非常强大的软件包,用来编程和控制机器。该软件提供了一个直观的用户界面,可以方便地操作和控制机器。该软件还为用户提供统计分析、性能报告和图形表示,可用于质量控制和提高对齐过程的准确性。总体而言,QUINTEL 2001遮罩对齐器是一个极好的工具,用于需要在不同基板上精确对齐各种模式的项目。它具有强大的软件和精确的位置反馈机,是制造高精度元件的理想机器。
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