二手 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9238375 待售

KASPER / EATON / QUINTEL 2001
ID: 9238375
晶圆大小: 3"
Mask aligner, 3" CTD.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001是一款多千兆赫、高精度的掩模对齐器。它被设计为生产用于合成集成电路(IC)和其他微机电(MEMS)器件的高精度、小特性的掩模和晶片。这种最先进的掩模对准器采用了获得专利的直接成像技术来实现纳米级精度。EATON 2001配备了一个光掩模,包含放置在精确网格中的图样特征。光掩模放置在晶圆定位器板上,并暴露在高强度的紫外线(U.V)光辐射下。然后使用电动对准器将光聚焦到光掩板上。对准非常精确,在晶圆上创建了一个高度均匀的图样网格。KASPER 2001使用高精度晶片步进系统将晶片从一个点移动到晶片定位器板上的另一个点。此对齐过程是可重复的,并允许掩码对齐器生成一致的高质量和高分辨率图像。步进系统设计为以每分钟百分之一毫米的最大速度运行。这使得系统非常精确,可以精确定位光掩板。QUINTEL 2001面罩对准器还具有自动对焦控制,以确保准确和可重复的图像形成。此掩码对齐器还提供掩码到标线的功能。这允许用户对齐光掩码和标线以轻松生成高分辨率图像。2001是一种高度通用和先进的掩码对齐器,适用于许多应用程序。这台功能强大的机器可用于面膜制造、光刻、制作光掩板和标线、制造微电子测试板等。它是那些需要高精度和高分辨率掩模对准系统的人的完美解决方桉。
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