二手 MIDAS MDA-400M #9315581 待售

MIDAS MDA-400M是一种用于微电子器件制造的高精度全场掩模对准器。它使用掩蔽技术将图样从光掩蔽转移到半导体晶圆。该装置具有广泛的制造应用，如薄膜晶体管、LED和OLED的制造。MIDAS MDA 400 M具有400mm的宽视场（FOV），允许进行大规模的晶圆应用。此外，对准器还具有高精度的步进重复设备。该系统可以在晶片上精确放置图样,从而提高产品质量。MDA-400M有一个内置的激光干涉仪，可提供+/-5纳米（nm）的图样放置精度。对准器还配备了一个完整的数值光学单元，允许精确的图样放置，可重复性为+/-0.2µm。为了提高吞吐量,MDA 400 M采用全自动对齐设置,利用机器学习算法优化模式放置。这样可以确保生产设备的产量更高。此外,MIDAS MDA-400M在其设计中集成了一台最先进的曝光机器,有助于确保一致的曝光和模式调整。该工具采用了超高纵横比（SHAR）体系结构,这意味着在一次拍摄中,阵列会一次在大面积上曝光。这通过减少曝光和阵列制作时间来提高准确性和生产率。此外，MIDAS MDA 400 M的设计目的是提供安全的操作和真空安全资产，以防止过程气体事故。该模型还具有节能功能，有助于降低设备的能耗。设备还配备了嵌入式热管理系统，有助于确保整个对准器使用过程中的温度稳定，从而实现更好的曝光精度和更一致的设备性能。总体而言,MDA-400M是一个非常精确的全场掩码对齐器,专为最佳制造应用而设计。其宽广的视野、精确的步进和重复单元，以及高精度的激光干涉仪，确保了它可以用于精确的模式对准和广泛的制造应用。机器的节能功能和热管理工具也使它能够安全高效地使用。