二手 MIDAS MDA-60FA #9302606 待售

MIDAS MDA-60FA是为高精度光刻工艺而设计的高级掩模对齐器。该设备的设计考虑到了精确度和成本效益，使其成为研究和生产应用的理想解决方桉。MDA-60FA配备直径60厘米乘深度60厘米的光学级，是目前最大的光学级之一。其高精度的加热卡盘确保了顶尖的对准，并提供了良好的基板之间的接触，允许精确的，高分辨率的光刻。该系统的最大曝光面积为80 x 90厘米,光源为15厘米（6英寸）,最大晶圆尺寸为11英寸。该设备具有多种便于精确曝光的功能。它提供多种曝光模式,包括半自动、自动和手动过程。它还配备了厚/薄玻璃加工能力，允许从一次曝光平滑过渡到下一次曝光。此外，机器中还集成了一个对齐站，以提供曝光前基板的高精度对齐。MIDAS MDA-60FA可与用于过程监测和控制的数据采集系统集成在一起,并为视觉和计量提供多种选择。它还为各种过程控制软件包提供了可靠的平台。该工具设计为极易维护,采用模块化装配设计,可轻松访问其所有组件。它还配备了主动水冷资产，以确保稳定性和精确度，其他安全功能如紧急停止命令有助于保护操作员免受有害辐射暴露等潜在危害。MDA-60FA面罩对齐器很可能被证明是许多研究和生产光刻操作的宝贵工具，因为很少有对齐器能提供高精度结果和成本效益。对于较大的暴露区域和无懈可击的对准控制,MIDAS MDA-60FA是理想的选择。