二手 MIKASA M-2L #9296315 待售

MIKASA M-2L是一种用于制造电子电路的高度精确的掩模对齐器。通过有选择地将对齐的光刻胶胶片通过印刷的遮罩图样照射到光线中，机器在基板上蚀刻出精确的电气元件图样。此掩码对齐器非常适合从生产基本线性电路到高级显示设备的超细线型等应用。M-2L设备的核心是精确、高分辨率的光学器件。该光学器件的吞吐量为4.8 µm（远心率为6）,有效分辨率为2.6 µm（相干度为100%）,定位精度为0.5 µm,可确保各种尺寸和形状的图样能够以优异的精度和可重复性来制作。此外,它还能够将层配准对准0.25 µm以内,并在单次射击时产生0.4 µm的线条/空间图桉间距。MIKASA M-2L系统针对高级性能进行了优化。通过其脉冲驱动均衡（PDE）功能，该单元精确监测光源的输出强度，提供曝光参数的稳定性和可重复性。此外，地面设计最小化机器振动，有助于其出色的迭加配准性能。M-2L是为用户友好和有效利用空间而设计的；该工具占用的空间不到3平方米，并对其状况和状态提供清晰的在线监控。此外,它的功耗很低（在110 VAC时6kW,这使其成为要求高精度且不影响能效的应用程序的理想选择。总而言之，MIKASA M-2L掩模对齐器以高效的封装提供高精度光刻。凭借出色的对准分辨率、强大的光学性能和独特的PDE特性，它可以产生无与伦比的可重复性和准确性的广泛电子电路。