二手 MIKASA MA-20 #9279286 待售

MIKASA MA-20掩模对齐器是一种光刻工具，用于将薄膜层定位在半导体基板表面。MA-20是一种高精度、非接触式定位设备，具有亚微米精度，非常适合先进的光刻应用。MIKASA MA-20是一种光刻系统，它利用掩模表和多用途级在晶圆表面上产生所需的图样。舞台上的真空卡盘有助于处理晶片表面。MASK表包括一个桌面和一个照相机,可参考照相机的视场和照明器投射的图像。MASK设计可以根据应用的要求进行选择，从标准的口罩到定制的图桉，图像的准确性通过检测器的自动校准来维持。MA-20还配备了多光束、高速扫描仪和照明器，以便为曝光过程获得必要的照明。扫描仪可以以最高2000毫米/秒的速度移动,为各种应用程序提供必要的精度。照明器的可变强度范围为1到100μW/cm2，并传送与设计的掩模相对应的图桉，单次曝光的视场为6mm x 6mm。MIKASA MA-20提供了几种增强光刻工艺的功能,可实现高精度、非接触对齐。其中包括极低温（LT）激光器、PCB优化的电机对准单元和自动对准功能。再者，MA-20有一个集成成像机，包括显微镜、内部系列镜片和液晶显示屏。这样可以在照片校准过程之前、期间和之后准确检查样品。集成速率控制器通过控制反馈工具确保精确对齐。综上所述，MIKASA MA-20是一种先进的光刻工具，旨在在半导体基板上产生精确的薄膜层。它提供了一系列优化对准的功能,包括多光束扫描仪、高速扫描仪和照明器、LT激光器、PCB优化的电机对准资产以及自动对准功能。MA-20还包括一个集成成像模型和一个速率控制器，以确保精确对准。