二手 MIKASA ML-1 #293655508 待售

MIKASA ML-1 Mask Aligner是一种自动化的、高度精确的机器,用于制造集成电路（ICs）的光刻工艺。它用于精确定位由照片结构或光掩模组成的图样掩模,并将其与用于蚀刻到硅片表面的设计布局对齐。ML-1 Mask Aligner有一个具有四个线性运动级、两个旋转级和一个具有集成的多个预对齐和预拾取站的晶圆级的掩模级。它是专为大批量IC生产而设计的，覆盖面积大，对准精度低于1.0 μ m。它利用紫外线光源、晶圆加热系统和先进的掩模迭加测量工具进行精确的超层配准和最大的迭加精度。MIKASA ML-1 Mask Aligner通过其先进的光学系统以及每个半色调的自动增益和偏移控制,进一步增强了处理深层紫外线半色调的能力。系统还配备了2轴材料切割机、6轴臂和自动洗涤器作为自动掩模对准过程最大控制的附加选项。ML-1 Mask Aligner具有易于使用的用户界面,可轻松开发、操作和存储高级阵列参数。它的交互式图形用户界面使其能够快速、方便地设计、编辑和创建生产所需的晶圆映射。此外,用户友好的软件简化了用户的数据管理和安装过程。MIKASA ML-1 Mask Aligner还提供了多个用户设置,包括其自动对齐过程,以便于适应各种生产需求和高端功能,如缩短周期和增强的过程控制功能。它还提供了一个AccuRitter （AR）特征跟踪程序，该程序自动获得深紫外线半色调光刻工艺的最佳坐标和路径。ML-1 Mask Aligner具有所有特性和功能,是用于IC生产的高度先进和可靠的自动Mask Aligner。它是任何寻求以最大产量实现高质量IC生产的集成电路制造厂商必不可少的机器。