二手 OAI 200 #9008675 待售

OAI 200，又称Orion Aligner Mask，是一种用于半导体制造过程的高分辨率图像对准设备。该系统用于测量和对齐半导体晶圆上的标记。200由覆盖、非接触式光学成像单元组成。机器测量由激光二极管或激光束创建的覆盖网格标记的精确像素级位置。OAI 200使用高分辨率镜头和多轴舞台来精确控制图像的定向和配准。该工具由一个阶段控制单元和一个检测控制单元组成。舞台控制单元精确控制舞台向所需方向和位置的旋转和倾斜，以捕获图像。检测控制资产使用电光设备检测图像。它使用边缘检测或光中心检测来捕获和对齐图像。200个模型测量从200 nm到800 nm的图像覆盖,并以1倍和4倍的速度工作。它能够一次测量晶片的完整区域。设备可以测量图像上的标记,这有助于最大程度地减少过度校准。这样可以提高产品的产量。系统中使用的图像分析软件让用户自定义自己的响应函数，用于边缘检测、圆检测和质心检测。此外，OAI 200还有一个实时图像捕获单元，允许用户同时捕获和对齐多个图像。机器可以在一次迭代中测量和对齐晶片的多个区域。该工具具有多种高级功能,如多模具堆栈的自动对准和多层多层基板。200还提供了高度精确的对齐特性和精确的对齐结果。OAI 200非常适合测量微观光源的大小，快速测量小的小尺寸像素，制造产量极好的0.18微米芯片。该资产用于航空航天、汽车、医疗、半导体等多个行业。