二手 OAI 804 TSA #9311625 待售

OAI 804 TSA是由OAI（Opto-Automated Imaging）为工业光刻工艺开发的掩模对齐器。它是一种用于半导体制造的高度精确的仪器，负责将光掩模的图样精确地放置在半导体晶圆上。它对于将微小特性的模式（如产生集成电路所需的模式）传输到晶圆特别有用。804 TSA由光学系统、显微管和探测器三部分组成。光学系统负责接收从构成设计的光掩模反射的光；它还将入射光分为两个分量：线性和角形。角度分量用于测量晶片相对于光掩模的位置。线性分量负责将光聚焦到检测器上，检测器用于测量光掩模上的特征与晶圆上的特征之间的距离和角度。OAI 804 TSA的精度是通过使用微波器将晶片移动到精确、预定的位置来实现的。微波器负责以亚纳米精度控制晶圆的运动。这样可以将CAD文件精确地传输到晶圆上，然后可以用于半导体芯片的生产。804 TSA配备了一个检测器，允许在多次曝光时进行图像对准。此检测器用于静态和动态对齐。静态对准利用激光快速对准单次曝光；动态对准使用视频成像系统实时监控掩模位置,并确保将多次曝光精确对准晶片。总体而言，OAI 804 TSA是工业光刻必不可少的工具，是将设计精确转移到半导体晶圆上所必需的。其精确的显微检测和检测器允许传输高度精确的图像,从而确保最高水平的制造精度。