二手 OAI 806 #293589824 待售

OAI 806是一种自动化的掩模对齐器，旨在生产大体积的微结构和微机械元件。它专为一次生产多个零件或元件时达到最佳分辨率、精度和生产速度而设计。806是一种先进的投影光刻设备，使用多端口反射光束产生接触面罩。阵列对准系统使用光学传感器对两个掩码进行精确自动对准。它还具有用户友好的图形界面，使编程变得容易。此外，对准器还有一个集成的激光扫描单元和一个用于接触掩码书写的集成曝光光头。使用OAI 806掩模对准器的优点是可以快速产生高密度、三维的微观结构和元件。其分辨率小于1微米，可产生气隙厚度小于0.2微米等特征。此外，该机还能准确、快速地暴露多层基板，使装配过程自动化，如微结构和元件的粘结连接。806对齐器还利用了快速晶片装卸过程。这个过程涉及将晶片卡盘架放置在两个轮式推车上，这样可以方便快捷地装卸晶片。OAI 806还提供高曝光精度和可重复性。掩模对准器使用空气放大器和空气阻尼器来控制短镜头曝光区域，而光学器件则在曝光过程中进行调整以满足精确的发射能量要求。为保证最佳刀具性能，806掩模对准器配备了先进的自我诊断。板载诊断程序监视asset抯性能,如果有组件故障,将向用户发出警报。集成软件进一步确保了模型始终保持高效。总体而言,OAI 806掩码对齐器是一种可靠可靠的自动掩码对齐器,可提供经济高效的大批量生产。它非常适合需要微米或亚微米结构的应用,以及需要快速晶片加载和卸载、准确且可重复的曝光以及自动化装配过程的应用。