二手 OAI Hybralign 200 #293590397 待售

OAI Hybralign 200是一款半自动的蒙版对准器，为光学光刻提供了先进的阵列平台。该设备用于在光掩模上创建图样,这有助于创建精确尺寸的高分辨率结构。设备使用极紫外线投影成像，在光掩模上获得所需的图桉。该系统采用双光束投影单元设计，是大多数光刻应用的理想选择。它的空间光调制器与激光投影工具集成在一起，使光掩模能够精确图样化。激光投影工具使用检流计进行动态光学对准和补偿因机械振动和温度变化而产生的误差。这样可以确保高精度对齐,而不会出现任何掩码到掩码的错误。机器的自动阵列引擎提供了灵活性,可以高精度地生成各种特征大小和布局。该工具配有CCD相机监控工具，用于图像矢量对准和显示。这有助于检查整个过程中的阵列状态。它的外部对准激光集成允许更精确的对准，这有助于在制造过程中获得更高的产量。该机器还通过考虑光掩模布局中的机械和光学像差来提供先进的覆盖公差。集成过程管理软件设计为与作业调度软件和CIM系统接口。这有助于创建用于制作光掩码的自动化过程,从而帮助优化资产的吞吐量。该模型是用于光学光刻的高质量光掩模生产的可靠解决方桉。它的高级功能和增强的规格确保在任何应用程序中获得准确的结果。Hybralign 200具有很高的工艺控制和精度，这对于制造高分辨率的光掩模结构至关重要。