二手 OAI HYBRALIGN 400 #9012379 待售
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ID: 9012379
Mask aligner
HTG 500 W power supply
OAI controller box
Zeiss dual head alignment scope
Objectives: 2x / 5x / 20x
Stored in a cleanroom.
OAI HybriLign 400 Mask Aligner是一款功能强大、技术先进的Mask Aligner,旨在提高生产效率,同时最大限度地减少用户操作时间。具有广泛的对准功能,设计用于生产半导体晶圆、微电路和其他微集成元件。它是第一台专为大批量生产而设计的薄晶圆掩模对准机。它将激光掩模对准技术与传统的光影掩模对准和传输成像相结合,为半导体晶片制造中使用的掩模配准提供了亚微米精度。凭借在一个动作中对齐多个晶片的能力,它可以大幅减少对手动抽样调整的需求,从而允许高吞吐量的制造。HybriLign 400具有两个非接触激光束源,一个光学物镜系统,一个边缘检测子系统,以及一个具有各种放大倍率的数字视场。这使得它能够非常快速、准确地定位蒙版图桉-分辨率高达1 µm ±-同时在图桉周围留下一个完全可控的无标记区域。视图字段也延伸到不同的字段中,以实现从不同角度同时对齐。这在需要更高精度时提供了更高的准确性。它还允许高速生产复杂的图样,而不是传统的光影遮罩对准所难以生产的。此外,HybriLign 400还提供了一个专有的Active Level Alignment功能,可以快速纠正预定图层中的任何错误对齐。这为操作员提供了一种更精确的监视掩码对齐方式的方法,因为可以近乎实时地纠正错误。HybriLign 400先进的设计和技术使其成为制造微集成器件时高性能和精确度的理想选择。其处理薄晶片生产和原位对准的能力使其在竞争中脱颖而出。
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