二手 OAI HYBRALIGN 400 #9140530 待售
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OAI HYBRALIGN 400是一种先进的用于显微光刻应用的掩模对准设备。该系统是市场上最精确可靠的掩模对齐器之一。HYBRALIGN 400是一个溷合单元,结合了自下而上的对准(基于掩模图像的对准)和自上而下的对准(基于晶圆图像的对准)。自下而上的对齐功能可实现极其精确可靠的图像对齐;而自上而下的对齐方式可确保晶圆上关键尺寸的准确性。机器能够高精度地识别掩模和晶圆图像中的小锥度和几何形状。OAI HYBRALIGN 400能够使用超高分辨率CCD对准传感器控制1 µm以内的对准。它还配备了高速、高精度的扫描级,能够达到最高200毫米/秒的舞台速度。HYBRALIGN 400支持用于气隙应用的精密离轴对准,并提供防开花技术以避免设备晶圆上的对准中心过度暴露。该工具配备了高性能并行GPU计算能力,以提高直通运算能力,减少运行时间。OAI HYBRALIGN 400还具有直观的用户界面,可实现高效、轻松的操作。它可以与软件系统联网,以允许数据交换和远程操作。它提供实时的信息性数据来监视和调整对齐过程,并且可以在安静和清洁的环境中操作。HYBRALIGN 400掩模对准器为微光刻应用提供了先进的能力和精确度,使其成为用于半导体、显示器、医疗和光学设备制造等多个行业的理想资产。
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