二手 OAI HYBRALIGN 500 #133785 待售

OAI HYBRALIGN 500是一款功能强大的掩模对齐器,非常适合集成电路生产中的先进阵列技术。该设备有三种型号：HYBRALIGN 500A、500B和500C，每种型号的设计都可以容纳不同厚度的口罩和基板。HYBRALIGN 500配备了一个投影成像设备，以400nm的波长运行，将通过掩模传输的激光置于基板的光阻剂上。然后,系统可以通过现有的或新投影的模式记录对齐标记在掩模和基板上的位置。一个精密的电动级也被用来精确的瞄准在2微米以内的对准。该单元能够在每个对准和曝光步骤之前应用光敏涂层，并利用先进的模式匹配算法进行高精度对准。可以添加自动模式匹配、即时纠错和硬实时对齐等可选功能,以提高效率、吞吐量和降低总成本。OAI HYBRALIGN 500还得益于一种紧凑的模块化设计,它占用的空间最小,而模块化运动机器的设计满足了许多生产任务和技术的需求。提供了可自定义的软件包,以方便传输基本数据,如对齐和曝光标记。用户友好的图形界面使用户能够在不进行复杂编码的情况下设置曝光参数和查看数据。此外,HYBRALIGN 500符合SEMI行业标准,并辅以全面的技术支持,以确保最高的运营效率和性能。它是先进光刻技术的理想解决方桉，需要高精度的掩模对准和图样传递。