二手 OAI HYBRALIGN 500 #9012380 待售

OAI HYBRALIGN 500是集成电路（IC）开发中用于光刻工艺的专业掩模对准器。它是一种步进器,用于对基板上的图样进行成像。HYBRALIGN 500是一个双场机器，意味着它有两个场可以同时用来成像。这允许字段之间的快速交换以及同一模式内不同掩码的垂直对齐。OAI HYBRALIGN 500的分辨率为0.2 μ m或更大,具体取决于步进参数。其特点包括焦点深度优化、紫外线曝光、对准和聚焦系统。它还包括曝光控制单元（ECU）,用于优化每次曝光的设置,以确保最高的精度和最高的图像质量。然后,处理器将编译曝光数据并将其直接发送到对齐器。HYBRALIGN 500还配备了一个非球形圆柱，允许最精确的对齐和最高的分辨率在匹配模式。它还有一个先进的掩码对准系统，可以补偿由于步进移位造成的模式上的任何差异。此外，它还有一个防漂移系统，该系统不断地将错位保持在允许的最大值内，从而提高了光刻工艺的总产量。该机还支持一系列高达8英寸的遮罩尺寸，具有激光抵抗曝光和激光源定向曝光等直接和间接成像功能。此外,它还包括一个用于最大程度减少污染的清洁污染核心单元,以及一个内置旋转阶段的子场成像选项。OAI HYBRALIGN 500具有刀刃法、Bessel光束法和空气轴承台式传动等多种内置特性，可精确控制曝光和图像分辨率。此外,HYBRALIGN 500采用人体工程学设计,易于维护和平稳运行。它还兼容各种类型的步进器，使其适用于一系列行业。总体而言，OAI HYBRALIGN 500是一款高度先进的掩模对准器，为集成电路的发展提供了卓越的图像分辨率和高精度光刻技术。其先进的特点不仅提供高产率，而且最大限度地提高吞吐量，减少制造过程中的缺陷。