二手 OAI Hybralign Series 400 #9096376 待售

OAI Hybralign Series 400是一款口罩对齐器，旨在为半导体工业中的光刻应用生产精确、高品质的口罩。它使用先进的光学成像系统，可以成像和蚀刻尺寸小至两微米的特征。掩模对准器具有晶片级，能够达到三微米的重复性。舞台可以容纳最大直径300毫米的大型晶片。Hybralign Series 400使用显微镜和激光对准的组合，将掩模图桉精确对准晶圆。它使用高达10倍放大倍率的高分辨率光学光学显微镜，精确检测并锐利锁定图样的对准。此外，激光对准系统对晶片进行高精度扫描，使图像与四个或五个参考点对准。Hybralign的对准精度非常精确,重新定位精度为+/-0.5 μ m。这样可以确保在晶片上精确地再现掩模图样的特征。它还能够根据所需的应用对深度范围内的层进行蚀刻。OAI Hybralign Series 400还具有用户友好界面,允许用户快速设置和运行作业。它还设计为与GDS II格式文件兼容，使其更容易读取和可视化掩码模式。此外,还可以通过控制面板远程监视设置和对齐过程。总体而言，Hybralign Series 400是专门为半导体工业中的光刻应用而设计的高精度掩模对齐器。其先进的光学成像和激光对准系统确保其能够生产精密和高质量的口罩，定位精度高达0.5 μ米。此外，它的用户友好界面允许用户快速设置和运行作业，而且它也与GDS II格式兼容。