二手 OAI J500-IR/VIS #9267335 待售

OAI J500-IR/VIS是OAI开发的掩码对齐器。这种设备使用短波长红外（IR）或可见（VIS）辐射在集成电路（IC）基板上执行临界光刻步骤。这使得半导体制造过程准确、精确、高效。该器件基于图样化的阶梯式石英基板，与晶圆表面对齐。然后将半导体基板暴露在红外辐射下，然后用它来精确定位晶圆上方有图样的石英基板。OAI J500-IR/VIS采用液晶显示屏（LCD）使p+元素与图样石英基板对齐。对准过程从基于液晶屏的基板的精确定位开始。然后，用一系列的紫外线（UV）光源来照射基板。通过适当控制紫外线的运动，图样被精确地转移到基板上。紫外线将石英反射到基板上，将定义的图样传递到晶圆上。通过吸尘室和可膨胀波纹管系统的结合，OAI J500-IR/VIS实现了精确的模式定位和对准。一旦图样被转移，真空系统维持室内的压力，帮助面罩与基板完美对齐。柔性波纹管有助于保持腔室内的压力，提高其整体精度。该设备允许用户进行各种修改和调整。这包括选择对准器、曝光角度、对准系统和照明条件。该设备还可以升级和定制,并具有其他功能和选项。OAI J500-IR/VIS的热门应用领域包括MEMS、显示器、微观结构、激光光学、医疗和光电器件以及半导体器件。OAI J500-IR/VIS是任何IR或VIS投影对齐器要求的理想选择,因为它提供高分辨率图像和卓越的速度。