二手 OAI J500 / VIS #293668356 待售

OAI J500/VIS是一种用于晶圆处理的高级高精度掩码对齐器。它被设计为光刻操作设备,并凭借其自动化的智能功能提供卓越的性能。J500/VIS掩模对齐器具有高分辨率能力,表面精度高达0.7 μ m,可用于各种晶圆工艺。掩模对齐器包含一个直观的控制软件，用于快速、方便地设置光刻工艺参数。此外，系统还配有高分辨率晶片级电子成像单元，用于将掩模精确对准晶片。蒙版对齐器具有内置的曝光模拟功能,可在继续实际蒙版之前识别阵列中的错误。此功能允许在将光掩码引入过程之前纠正光掩码中的错误。此外,OAI J500/VIS还包括多场缝合精度、分段视图和自动智能自对齐机。自动化智能自对准工具利用智能算法的力量，根据几个晶圆特性快速计算出最优参数。这包括能够自动确定任务所需的最佳模式密度、暴露剂量和焦点。J500/VIS操作高效、准确，是保证光刻晶片加工质量的理想工具。