二手 OAI J500 / VIS #293741977 待售

OAI J500/VIS是一种用于光刻晶片图样的掩模对齐器。它被用于各个行业，包括光电、纳米电子和MEMS（微电机械系统）制造。在光刻技术中，J500/VIS掩模对准器是光刻工艺的关键部分。OAI J500/VIS是一种高精度的掩码对齐器。它具有独立的成像和掩蔽阶段，使得每个光刻步骤可以对不同的处理层成像。这样可以提高吞吐量,简化掩码交换过程,并保持复杂集成电路阵列所需的高精度。成像透镜的精度和掩模配准电子器件的精度对于对准精度都极为重要。J500/VIS具有先进的光学元件、445 nm激光和高技术性的CCD摄像机阵列,处理分辨率在亚微米范围内,可确保精确定位。OAI J500/VIS的对准精度非常精确。它提供0.3微米的重复精度-大约是当前行业标准的两倍。在400nm至1µm之间的成像分辨率上保持这种精度。宽度小至4.0µm的特徵可以精确处理。此外,J500/VIS具有增强的迭加功能,与传统的掩码对齐器相比,它减少了所需的对齐步骤总数,并改善了晶圆曝光过程。此外,该系统还利用近场光学检查（NFOI）,使系统能够看到超出传统成像景深（DOF）的限制。OAI J500/VIS由于具有多种掩码处理功能,因此还具有广泛的掩码功能。它支持单面或双面掩码处理,以及简单和复杂掩码处理。该系统还具有全尺寸蒙版扫描、精确的步进效果和自动蒙版对准功能。此外,它还可以处理不同的蒙版尺寸和材料,因此非常适合各种阵列应用。此外,J500/VIS高度用户友好,便于学习和操作。其直观的图形用户界面（GUI）和彩色触摸屏使其易于输入、修改和存储参数和配方,以实现精确、可重复的曝光。此外,它的远程内存上载功能意味着流程信息可以快速、准确和安全地从一台计算机传输到另一台计算机。总体而言，OAI J500/VIS已被证明是光刻晶片阵列的可靠和精确的掩模对准器，为复杂的集成电路制造提供了卓越的能力。