二手 OAI J500 #293810208 待售
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ID: 293810208
晶圆大小: 8"
Mask aligner, 8"
Lamp house: 360-440 nm
Wavelength: 1Kw NUV, 365/400 nm sensor
NAVITAR Adjustable optics
PULNIX 7CN Camera
MITUTOYO Lens
Mask frame size: 4"-5"
UV Lamp: 1000W NUV.
OAI J500是一种用于制造集成电路的半导体光刻屏蔽对准器。掩模对齐器能够将掩模或光掩模与晶片对齐，其精度为纳米级。这是通过投影对准，并通过角度调整和扫描显微镜辅助完成。遮罩对准器由一个光学投影系统组成，包含四个主要组成部分：光源、投影光学器件、遮罩级和晶片级。光源可以从激光、LED和电弧灯中选择，波长和功率输出范围不同。投影光学器件将掩模放大并投射到晶片上，并具有标线、扫描镜头和冷凝器镜头。标线用于调整掩模图桉的大小、形状和角度方向,而扫描镜头则用于校正掩模布局的焦点。使用冷凝器透镜在晶圆上形成掩模的图像。掩模级用来固定光掩模，可以三维移动，使掩模和晶圆对齐。它具有具有闭环伺服系统的低速惯性系统，提供XYZ位置精度。遮罩台还装有彩色对准光学器件，可以对投影光学器件引起的像差进行3D补偿。晶片级用作掩模层对齐的基板。它是由陶瓷材料，并能够旋转对准和超平滑扫描与最小的杂散场。掩模和晶片的对准需要高度的精度，最佳精度为0.4微米的制图。J500掩模对准器是半导体光刻的重要工具，用于集成电路和其他微电子元件的制造过程。在要求最苛刻的半导体工艺中，它可以提供纳米级的精度和准确性，同时保持高吞吐量和可靠性。
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