二手 ORIEL 8097 #9096377 待售

ORIEL 8097是在设备制造过程中使用的Aligner-Prober Mask Stepper。它用于将从标线获得的光刻胶图样转移到硅基板上，以进行精确的对准和受控沉积。面罩对准器具有42毫米自动的标线交换设备,可加快装载速度,促进高效的生产过程。8097的标准视场（FOV）为8x8英寸,配有自动晶圆索引系统,用于对齐过程中的全场控制。此外,其XY运动控制功能,加上其他配置选项（如自动对焦、背面对齐和模模对齐选项）,提供了灵活的对齐方桉。全场对准器还配备了一个视觉单元，通过扩展的20位成像处理器和具有全球快门技术的高分辨率0.74 µm TV Spot CCD相机进行精确对准。ORIEL 8097具有多种对齐模式，包括像素掩码匹配、亮场、edgescan晶片迭加、模式检测、实时检查。此外,它的标线还具有自动对焦机构,通过手动和算法坐标调整进行精确控制.此外，它还配备了多种线性和分段执行器，用于基板或掩模对准的精确平行性和平面性。8097由Linux实时操作机器和人机接口（HMI）提供支持,以实现高效操作。其步进分辨率为0.5-1.0 µm，最大书写场可达4英寸，舞台精度为8.0 µm（3-Sigma）。整个工具在晶片盒式环境中运行，能够容纳8英寸至200毫米晶片，以及在标线盒中最多42毫米的标线。其图形用户界面（GUI）实现了程序设置和自动步进控制。此外,ORIEL 8097还配备了一个集成的高真空（HV）等离子体除尘站和一个真空光晕还原站,以尽量减少颗粒浓度。此外，它还包括一个加热夹紧卡盘，以最大程度地减少对基板的热应力影响，一个用于暴露于紫外线光源的紫外线泛光灯，以及一个± 100 µm精度的综合屋顶升降机资产，用于控制面罩和晶圆之间距离到亚微米精度。总之,8097是一种考虑到精度、可靠性和可扩展性的掩码对齐器.光刻胶沉积在基板上的精度和速度是理想的选择。此步进器的设计目的是提供最多三年的产品寿命,从而确保高投资回报和高效生产。