二手 PERKIN ELMER 340 #293643187 待售
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PERKIN ELMER 340 Mask Aligner是一种用于生产微型光刻口罩的光刻工具。它设计用于暴露多种面膜层,包括铬、石英和铝,使用紫外线(UV)光。Mask Aligner是电动的,由Windows操作设备控制。340 Mask Aligner专为光学Mask的快速准确对准而设计。它具有一个微处理器控制的舞台和一个内置的自动对齐功能,允许非常精确的对齐层。"遮罩对齐器"还具有一个传感器系统,称为阴影对齐遮罩,使其能够准确检测被曝光层的位置和方向。Mask Aligner的舞台速度高达25 cm/s,允许快速处理层。PERKIN ELMER 340 Mask Aligner能够生产高质量的光刻口罩,最大分辨率为0.8微米,最小特征尺寸为1.2微米。Mask Aligner还具有激光束入射对准单元,它允许对面罩进行极其精确的对准,精度为10 μ m或更高。本机利用反射激光,能够检测最小特征尺寸的细节,适用于各种基板。Mask Aligner还配备了一个车载集成CCD摄像头,用于目视检查Mask。这是通过在光刻的不同阶段捕获掩模的图像,然后将图像发送到计算机进行进一步的分析和比较来完成的。此工具允许用户快速检测屏蔽的缺陷、不规则性和不对齐。Mask Aligner具有快速更换液晶屏,能够在各种光刻工艺之间快速切换。这使操作员能够从一个流程快速切换到另一个流程,从而减少停机时间并提高效率。Mask Aligner还允许操作员为不同的Mask保存和调用不同的对齐设置,从而使他们能够快速、精确地处理多个Mask,而无需每次调整设置。340 Mask Aligner能够为各种微电子设备和应用生产高质量的光刻口罩。凭借其高分辨率和精确度,这款Mask Aligner可用于生产从纳米级到先进微电子的各种产品的Mask。
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