二手 PERKIN ELMER 600 series #9056496 待售

PERKIN ELMER 600系列掩模对准器是一种广泛使用的用于光刻的半导体制造设备。该设备使用遮罩图像的光学投影在晶片或基板上均匀地曝光光刻胶。对准过程采用计算机控制的步进电机，精度高。这种装置设计用于生产直径不超过6英寸的晶片和芯片。它有一个5轴定位系统，可以在精度0.1微米范围内精确对齐和构造晶圆上的图样。该单位由四个主要组成部分组成；舞台，步进电机，灯和控制器。该级用于移动和定位打印成像布局的基板或晶片。使用步进电机,台阶能够在三个轴上精确旋转和弯曲基板,以便在基板上正确对齐光学布局。用于对准过程的灯是一种高强度的紫外线灯，它提供足够的能量来充分暴露光致抗蚀层。控制器是通过为步进电机供电和控制其他操作（如曝光时间、快门速度和焦点）来引导设备的软件组件。PERKIN ELMER机器的用户界面允许用户快速、轻松地设置对齐参数。它还具有常见的模式校正工具，如放大、失真控制和旋转偏移校正。此外,工具控制允许用户访问每个作业的各种电源、强度和循环设置。PERKIN ELMER资产提供高质量的性能,这在半导体制造中是必不可少的.它提供均匀的曝光，允许精确的模式转移。该模型还包括内置的安全特性，如控制对准压力，避免过度照明和预测源故障。此外,建议对掩码对齐器进行定期维护,以确保每个作业都有准确的对齐过程。总而言之，600系列遮罩对准器是半导体制造中光刻高精度对准所必需的设备。