二手 PERKIN ELMER Micralign 220 #9233008 待售

PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner是一种多用途的半导体光刻遮罩对准器，提供高精度的优异效果。它是各种应用程序的理想工具,从需要从一层到下一层无缝、准确过渡的组件的中低体积生产。Micralign 220 Mask Aligner使用两个相反的X-Y级来精确定位屏蔽,并将晶片暴露在18 x 20和36 x 40mm的基板上。晶圆、水和对准升力表面的三维测量可确保精度和设备的一微米精度。这种精确度是通过使用步进运动的垫层控制，结合保证无漂移操作的XY交叉远心传感系统来实现的。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner还提供可选的集成晶圆处理,可实现单独对准和曝光。该单元具有步进驱动的对齐机制,该机制允许有广泛的对齐角度,并且还可以执行并行或串行对齐。它采用高功率、多光谱的光学投影获得25微米或更好的对准精度和3微米的最小特征尺寸。Micralign 220 Mask Aligner专为高通量应用而设计,可选的多曝光机可确保同时曝光多个基板,从而提高效率。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner还包括直观的用户界面，便于控制和使用。它有一个内置的校准工具，当暴露发生在目标窗口之外时自动调整资产。该模型还配备了获得专利的MEMS（微型机电设备）相移系统，确保所有各种接触在迭加过程中都实现了相同的相移，并保持了整个过程的稳定性。最后，该装置包括一个温度和湿度控制机器，以确保在最佳环境下进行对准和曝光过程。Micralign 220 Mask Aligner专为实现最大的重复性和准确性而设计,是各种Mask对准和光刻应用的完美工具。它的多功能性和直观的用户界面使其成为需要高精度和速度的应用程序的理想工具。