二手 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #9058228 待售
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ID: 9058228
晶圆大小: 6"
High resolution mask aligner, 6"
Backside infrared alignment
Resolution: (1) Micron with vacuum contact.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000 Mask Aligner是一种高精度、自动化的机器,用于光刻工艺。它是为生产多集成电路(IC)设计,从一个单一的掩模集。机器由主框架、舞台单元、光学室、照相机和X-Y驱动设备组成。它具有动态双轴视频对准功能,可提供卓越的对准精度,从而为多级IC结构提供高精度。高分辨率数码相机提供对准和对焦感应,用于驱动舞台以精确对准工件上的集成电路设计。该机还有一个强大的照明系统,使用强光源和特殊的光学器件,以尽量减少像差和反射。多级掩码与X-Y驱动器单元的工件正确对齐,X-Y驱动器单元具有自动诊断机器,可不断监控和调整以实现最佳操作。自动销毁头可确保口罩的精确对准。机器还有一个晶片装载机和卸载机,这使得晶片的高效交付。此外,QUINTEL 7000还配备了内置软件套件,可提供控制、编程和审阅过程。它还能够每小时生产多达15个晶圆,特征模式精度高达1.5微米。此外,该机为现场编程和维修提供充分支持,使其成为市场上最高效可靠的掩模对齐器之一。
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