二手 QUINTEL / NEUTRONIX Q 4000 #9131039 待售

QUINTEL/NEUTRONIX Q 4000是为制造高精度微电子元件而设计的最先进的掩模对准器。该设备将优化的晶圆处理和机器接口与先进的检振扫描仪结合在一起，以提供高度精确的对准和模式（掩模）暴露在基板上。QUINTEL Q 4000的核心是其高度精确的晶圆放置和扫描功能。它采用了六轴晶圆传递级和先进的低惯性检流计扫描仪，可以根据需要倾斜和旋转，以达到高精度的结果。该设备还配备了精密运动控制器和用于沿X、Y和θ轴精确扫描的精密编码系统；最大0.5 μ m的编码器分辨率；加速度和速度可达8m/s2；且可重复性高达0.01mm。晶片本身被放置在传输级，并通过检流计扫描仪进行扫描，以进行掩模对准过程。该单元能够同步三个轴，以精确对准掩模与晶片与精确定位坚持最高精度。对准机由于其由透镜、棱镜和石英激光光源组成的光学阵列，能够曝光各种放大倍率的图桉。NEUTRONIX Q-4000能够处理尺寸和厚度范围，直径从1到8英寸，最大厚度为10.0毫米的晶片。刀具的磁场尺寸也是可调的，标准磁场尺寸为50 × 50mm，延伸到130 × 130mm。此外，该资产还可以处理多种晶圆工艺，如旋转、热干燥和背面对准。此外，该模型采用基于Windows NT的软件包，为用户提供了众多晶圆制备和掩码对准功能的完全自动化。它具有完全图形化的用户界面以及丰富的屏幕信息和菜单，以方便用户。此信息包括有关晶圆运动、目标、字段大小、对齐状态、扫描参数等的实时更新。Q-4000是一种可靠的、最先进的掩模对准器,适用于需要将图样精确对准晶片以制造微电子元件的用户。NEUTRONIX Q 4000以其六轴晶圆传输级、先进的低惯性检流计扫描仪以及基于Windows NT的自动化软件设计，为所有应用程序提供准确可靠。