二手 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 #293603582 待售
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ID: 293603582
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 2001
Mask aligner, 4"-8"
Front and backside IR alignment
2001 vintage.
QUINTEL/NEUTRONIX Q7000是一种通用的掩码对齐器,用于对齐单个或多个设备阵列应用程序的光掩码,并对具有不同特性要求的多个设备进行精确处理。它可以用于微加工作业,从基本设备和电路处理到现代嵌入式系统中使用的先进技术。QUINTEL Q7000具有两轴精密运动阶段,可提供底物X轴和Y轴的亚微米分辨率。此阶段的相对速度可高达25 cm/s,控制器编程功能可实现阵列制作过程的完全自动化。该流程还与其他环境操作系统(如Windows)集成,以便于使用通用软件工具进行操作。对于对准应用,NEUTRONIX Q 7000有一个自动对准模块,使用独特的"立体视觉"方法来确保所需图像和图层的精确对准。本模块采用精密加工光学和独特的折射"立体视觉"技术,以确保实现最佳对准和最详细的图像。QUINTEL/NEUTRONIX Q 7000的主要特点是它的双束光刻设备,允许在任何平面表面上的高模式保真度。它利用了两组经过衍射优化的光束光学器件-一组在基板上,另一组在掩模上-并具有广泛的聚焦范围,使其能够生成线宽超过0.1 um的图像。双光束光刻系统的其他特点包括具有高通量执行步进和重复操作的能力,以及具有改进的光刻对比度的较小特征尺寸。Q 7000的其他特点包括:一个耐酸外壳,可用于防止加工化学品远离基材;一个先进的FOUP清洁装置,旨在防止工艺受到污染;以及一个用于输送适当的净化气体的综合供气机。Q7000是一种先进的光刻工具,非常适合高质量、高精度的阵列应用。凭借其精密的对齐能力、自动化控制软件、双光束光刻资产等特点,是满足微加工需求的理想解决方桉。
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