二手 SEMI DARIN SDMA-12SA #293760484 待售

製造商
SEMI DARIN
模型
SDMA-12SA
ID: 293760484
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2023
Mask aligner, 8"-12" Back Side Alignment (BSA) Chiller Vacuum chuck, 8"-12" Mask holder, 8"-12" Lamp house module: LED Holder (9) UV LED Light source modules Wavelength: 365 nm Intensity: 20 mW/cm² Uniformity: ±4% Top scale module: Dual CCD Zoom Dual X, Y, and Z Motorize Objective spacing: 140-310 Back side module: Dual CCD Motorize Dual X, Y, and Z Motorize Objective spacing: 140-270 Leveling stage module: Auto leveling system Manual X and Y Micrometer Θ and Z-Axis motorizing Z-Axis alignment gap: 20-200 µm Temperature controller Flow meter sensor PC Monitor Data logging Power supply 2023 vintage.
SEMI DARIN SDMA-12SA是一种最先进的掩模对齐器,为半导体行业提供精确高效的光刻能力。此高级工具旨在为亚微米特性提供高分辨率阵列,使其非常适合制造高级半导体器件和组件。SDMA-12SA具有坚固而稳定的平台,可确保一致和可靠的对齐和曝光过程。该设备配备了先进的对准技术,包括顶部和底部对准、自动对准和高分辨率CCD摄像机,使口罩和基板精确对准亚微米精度。SEMI DARIN SDMA-12SA的一个关键特征是它的高强度紫外线光源,它为曝光光刻材料提供了均匀而强烈的照明。这样就形成了清晰、定义明确的模式,对蒙版设计具有很高的保真度。该系统还提供了可调曝光剂量和曝光时间的选项,允许用户优化不同光刻材料和基材类型的工艺参数。除了精确的调整和曝光功能外,SDMA-12SA还配备了先进的自动化功能,可提高生产环境中的生产率和效率。该单元包括自动化装卸机制以及软件控制的流程排序,以简化操作。这种自动化减少了人工干预,并最大程度地减少了潜在的错误,从而提高了吞吐量和改进了流程可重复性。SEMI DARIN SDMA-12SA的设计也考虑到灵活性,允许用户使用各种面罩尺寸和类型。该机器支持标准的光掩码和定制设计的掩码,使用户能够为各种半导体应用程序创建复杂而独特的模式。该工具还提供了多种曝光模式的选项,包括接近模式、软接触模式和硬接触模式,使用户可以灵活地根据自己的特定要求选择最佳曝光方法。此外,SDMA-12SA还配备了高级软件控制和监控功能,使用户能够轻松地实时编程和监控对齐和曝光过程。资产包括提供直观操作和控制的用户友好界面,以及用于流程优化和质量控制的全面数据记录和分析工具。总体而言,SEMI DARIN SDMA-12SA是一款用途广泛且可靠的掩模对齐器,可为半导体制造应用提供高性能的光刻功能。凭借先进的对齐和曝光技术、自动化的特性、灵活性和用户友好的界面,该模型成为生产具有复杂和精确模式的高质量半导体器件的重要工具。其强大的设计和卓越的性能使其成为寻求在制造过程中取得最佳结果的半导体制造设施的宝贵资产。
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