二手 SUSS MICROTEC ID-NR.174134 #9329395 待售

ID: 9329395
Lithography Lamp house: 5000 W.
SUSS MICROTEC ID-NR.174134是一种用于精确对准和可重复性的掩码对齐器。它结合了精密扫描设备、先进的对准技术和数据传输技术,提供了可靠、可重复、精确对准的基板。ID-NR.174134的扫描仪是接触/非接触扫描仪,扫描分辨率高达1nm。它配备了使用C卡口镜头检测镀铬口罩或其他非接触介质的相机系统。扫描单元允许在对准或返工操作期间对基板进行准确和可重复的对准。机器是完全可编程的,可以设置为绘制一个模式或感兴趣的区域。与精密对准显微镜配合使用,可用于测量模式对准的可重复性和准确性。ID-NR.174134的对齐工具是使用手动和自动对齐测量相结合的自动相移对齐资产。模型包括图样定位、旋转和对齐的图像处理算法。它还包括反馈算法以确保最佳的对齐精度。该设备还提供了一个完整的NVCC视图,用于获得完整的4点对齐方式,某些应用程序中最多可提供8点对齐方式。ID-NR.174134的数据传输系统是高速、高性能的以太网接口。此设备可以传输每秒高达10 GB的数据,并根据客户的要求使用铜缆或光缆。该机器可靠可靠,数据速率足够快,可以在掩模对准器和基板之间长距离传输数据。该ID-NR.174134还包括一系列附件和选项,可有效地运行各种进程。其模块化设计允许整合其他设备,如精度测量工具、光谱仪和用于监控或控制过程的加热器。此外,最高± 3 mK的平面内温度稳定性可用于超精度对准。总之,SUSS MICROTEC ID-NR.174134是精确对准和可重复性的理想选择.其先进的扫描技术和复杂的对齐算法使其具有很高的准确性,并允许在远距离快速传输数据。各种配件和选项也使其适合各种工艺。
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