二手 SVG Micralign 600HT #9400549 待售
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ID: 9400549
晶圆大小: 6"
Projection mask aligner, 6"
Running hours: 37,827
AIM Advanced interface
PC Control (computer untested)
(15) CAMBRIDGE Instruments eye pieces
Detachable keyboard
Operation and training manuals included
Power supply: 208/220/240V, 60Hz, Single phase.
SVG Micralign 600HT是为光刻工艺设计的最先进的掩模对齐器。它非常适合涵盖从最小特征尺寸1.2 μ m到200 μ m的广泛应用,包括步进、重复和全场对齐。掩模对齐器由一个装有掩模的工艺室和一个晶片级组成，晶片在该级放置用于曝光。利用激光干涉仪实现对准，激光干涉仪检测晶片的地形，以精细调整掩模和晶片的位置，使它们完全对准。Micralign 600HT允许用户从各种照明源和放大倍数中进行选择,从而产生亚微米的特征大小。不仅如此,SVG Micralign 600HT还利用Chuck Impulse Technology消除了流体掩模损坏,并实现了高达每小时16.6晶圆的吞吐量。此外，该机采用200 mm级而不是150 mm级，因此可以容纳更多晶圆，进一步提高吞吐量。该工具配备了专有的VariThermal Process Control （VPTC）设备,可确保在处理和对准过程中掩模和晶片保持在适当的温度下。该系统采用动态温度控制,可实现最佳晶片和掩模温度补偿.使用此单元,可以快速轻松地调整工艺设置,以适应各种环境和不同的掩模材料。此外,Micralign 600HT可确保极高的分辨率,具有33nm的子像素对齐精度和小于1um的扭曲误差。这使得它成为先进的IC和BIOS技术的理想工具。最后，该机还配有一个非常方便用户的软件机，使操作和维护变得简单易行，减少了停机时间，提高了芯片产量。
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