二手 SVG / PERKIN ELMER 660 #9396151 待售

SVG/PERKIN ELMER 660是为纳米光刻应用而设计的先进、精密的掩模对准器。此掩码对齐器使用多种对齐方法，以最可重複的结果达到最高精度。集成的复杂软件可自动完成大部分对齐过程,从而在灵活的计算机中获得快速且可重复的结果。SVG 660可用于各种应用，包括微电子器件制造、图形艺术成像、精密光刻。该设备具有高精度手动舞台、高分辨率光学图像、车载× 40光学变焦系统以及自动定位功能以辅助对准。PERKIN ELMER 660采用8轴墨盒设计,可显着减少与基板安装、掩模制造、晶圆和基板配准以及预对准相关的时间和成本。此外,660对齐器可以手动操作,也可以自动操作,从而减少基板和掩模的处理。SVG/PERKIN ELMER 660的高级光学单元允许它以不同的放大倍数精确拍摄图像,从而实现详细、准确的对准过程。该机配备了自动边缘检测功能，有助于减少工艺变化，提高效果。该工具还包括激光干涉仪，有助于确保精确的级控制和高达0.1 µm的分辨率水平。总体而言,SVG 660 Mask Aligner是精密光刻的一项非常先进的资产,可帮助减少工艺变化并实现复杂、可重复的纳米光刻工艺。该模型利用复杂的自动化和高分辨率成像,实现快速、准确的结果。该设备灵活的设计和可升级的功能使其成为各种生产和研究应用的绝佳选择。