二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 300 #40530 待售

SVG/PERKIN ELMER/ASML 300是一种掩模对齐器,它以微结构制造过程所需的对齐精度提供对基板图样的精确控制。本机具有352毫米（13.86英寸）的大控制场，其舞台可在x、y和theta方向精确移动。利用其集成的对齐标记传感器，用户可以轻松检测基板中的标记，从而在多个基板上实现精确对齐和对齐重复。SVG 300还配备了用于微加工过程的数字投影设备。这个系统的分辨率高达0.25 μ m，使用户能够精确控制用于亚微米尺度应用的基板的图样。数字投影单元由数字光学和超低失真成像组件组成，提供卓越的图像质量、高分辨率成像、数字均衡和软件控制的镜头校正功能。遮罩对准器还具有数字照明，提供精确的照明控制，可以针对不同的基板类型进行调整。此外,掩模对准器还配备了先进的投影管,用户可以以高精度处理小的（低至0.1 μ m）图样。ASML 300还有一个内置的基板盒式机器，允许用户快速、方便地将基板与对齐器之间进行传输。利用内置的光刻站，用户可以以优异的均匀性和高分辨率快速处理基板。为确保PERKIN ELMER 300的安全运行，该工具配备了先进的安全措施，如惰性气体外壳、压力传感器和自动安全罩，以保护光学器件免受外部损坏，并检测可能对资产部件造成损害的气体。综上所述，300是一种功能强大的掩模对齐器，通过其大的控制场和数字投影模型提供基板的受控模式。它还具有数字照明、先进的投影管、内置基底盒式设备、光刻站和安全措施等特点，使其能够以更高的精度和均匀性安全地处理微结构制造过程。