二手 SVG / PERKIN ELMER / ASML 340 #33407 待售
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SVG/PERKIN ELMER/ASML 340 Mask Aligner是一种用途广泛且可靠的半导体光刻工具。这一工具利用一盏小型汞氙灯产生的光,在半导体晶圆上蚀刻图样和结构,从而能够制造集成电路、晶体管和其他电子元件。Mask Aligner采用全8英寸宽的视场设计,可确保将Mask精确对准半导体晶圆上所需的区域。此功能还可以更快、更精确地蚀刻电路布局图样。掩模对齐器的顶板是可移动的,允许将掩模精确对准半导体晶圆上所需的区域。口罩对齐器配备了一个曝光头,能够将口罩的图案化表面暴露在晶片上。这是通过沿着横跨晶圆的线性路径移动磁头来完成的。该过程是连续和可重复的,确保每次都有高度精确和干净的图像。曝光头还可以使用紫外线、可见光和近红外光,以及氮气、氙气和氧气进行受控表面制备。"遮罩对齐器"还具有光束扩展器,它允许用户精确调整工作距离、光束直径和光束位置,以获得被蚀刻图桉的最佳分辨率。这是通过精确控制离子膨胀器来完成的,离子膨胀器使用了镜头、镜子和其他组件的精心选择的组合。此外,Mask Aligner还具有最先进的曝光控制功能,使用户能够调整曝光参数,如剂量、曝光时间、散热和蚀刻深度。此外,Mask Aligner凭借其先进的机械设计提供了卓越的精确度,从而最大程度地减少了晶圆表面暴露剂量的变化。总之,SVG 340 Mask Aligner是精密处理半导体晶片的一个优秀而可靠的工具,也是那些希望创建精密集成电路设计的人必不可少的工具。
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